介质镀膜 SL钝化: 1.长波钝化失效原因分析。 2.不同长波材料体系(InAs/GaSb、高Al组分)表面处理研究。 3.现有钝化工艺及长波材料侧壁钝化优化。 4.钝化膜与应力表征方式调研验证。 5.新型钝化工艺调研与验证。 金属镀膜: 1.SL金属-半欧姆接触研究 2.退火工艺开发 3.金属深槽爬坡及可靠性验证
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