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职位描述

介质镀膜
SL钝化:
1.长波钝化失效原因分析。
2.不同长波材料体系(InAs/GaSb、高Al组分)表面处理研究。
3.现有钝化工艺及长波材料侧壁钝化优化。
4.钝化膜与应力表征方式调研验证。
5.新型钝化工艺调研与验证。
金属镀膜:
1.SL金属-半欧姆接触研究
2.退火工艺开发
3.金属深槽爬坡及可靠性验证

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